11:05 〜 11:40
[K1.4] [基調講演]PSD法を用いたマイクロLEDディスプレイ実現に向けた取り組み
キーワード：マイクロLEDディスプレイ、GaN、PSD
本講演ではスパッタリングをベースとする低温結晶成長手法（PSD法）を用いて作製された窒化物薄膜の基礎特性と、この結晶成長技術のマイクロLEDディスプレイ作製への応用について解説する．
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