[S4] S4.機能コアの材料科学 III(2)

[S4.31] 高温酸素ポテンシャル勾配下におけるアルミナ中の物質移動に及ぼす粒界構造の影響

*松平 恒昭¹、小川 貴史¹、北岡 諭¹、竹内 美由紀²、馮 斌²、柴田 直哉^1,2、幾原 雄一^1,2 (1. JFCC、2. 東大)

キーワード：アルミナ、粒界拡散、酸素ポテンシャル勾配、高温

アルミナの多結晶ウェハとΣ31双晶ウェハを用いて，高温の酸素ポテンシャル勾配下におけるアルミナウェハ中の粒界を介した物質移動に及ぼす粒界構造の影響について評価・解析した．