[G] 分析・解析・評価

[9] 走査電子顕微鏡内1200 ℃試料の反射電子信号によるその場観察

*大塚 岳志¹、望月 貞彦¹、原 昌也¹ (1. 日本電子株式会社)

キーワード：走査電子顕微鏡、組織観察、熱処理、粒成長、析出

走査電子顕微鏡によるその場観察で、試料を1200℃に加熱しながら組成やチャネリングといった組織に関わる像コントラストの取得方法を提案し、組織成長の様子を観察した例を報告する。