[G] 表面・界面・触媒

[174] MeN-SiCN複合膜 (Me=遷移金属 ) の耐熱性

*伊藤 太一¹、土屋 大樹¹、李 昇原¹、松田 健二¹、池野 進²、野瀬 正照² (1. 富山大学、2. 富山大学名誉教授)

キーワード：硬質コーティング、透過型電子顕微鏡、スパッタリング、耐熱性

MeN-SiCN膜はMeN微結晶と耐熱性に優れたSiCN相の複合膜であり, 優れた機械的性質と耐酸化性を併せ持つ膜である。本研究では,様々な遷移金属窒化物でMeN-SiCN複合膜を作製し, 種々の膜の耐熱性について調査を行った。