[G] ハード磁性材料

[261] 微細加工法により作製したSm(Fe-Co)-B正方形配列パターンの構造と磁気特性

*森 裕一¹、畑中 辰汰朗²、神林 守人¹、渡邉 壯真¹、土井 正晶³、嶋 敏之³ (1. 東北学院大工（院生）、2. 東北学院大工（学生）、3. 東北学院大工)

キーワード：RFe₁₂ 化合物、微細加工、保磁力

Sm(Fe-Co)-B薄膜の保磁力向上を目指し、正方形配列パターンに微細加工した試料の磁気特性及び結晶構造を調査した。キャップ層の成膜及び熱処理を行うことで保磁力の向上を確認した。講演ではその要因を考察する。