[P] P46,P47

[P47] ZnO薄膜への金属元素添加による光学的・電気的特性の改善

*小林 泰河¹、山根 治起²、小林 政信¹ (1. 千葉工業大学、2. 秋田産業技術センター)

キーワード：ZnO、透明電極、酸化物半導体

現在、透明電極としてITOが使用されている。しかし、将来安定した供給が不安視されており、代替材料の研究が進められている。本研究ではZnOに遷移金属を添加した際の光学的・電気的特性の変化について検討した。