13:00 〜 14:30
[P61] 超音波接合における発振周波数とAlワイヤ組織の関係
キーワード:超音波接合、ウェッジボンディング、Alワイヤ、EBSD、周波数
周波数40kHzと110kHでAlワイヤとAl基板を超音波接合した。EBSDによってAlワイヤの組織解析を行った結果、周波数110kHzによる接合では、ひずみの少ない領域がワイヤ全体に広く分布することが分かった。
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