[P] P143~P150

[P147] Sm(Fe-Co)正方形ドット配列パターンの高保磁力化

*畑中 辰汰朗¹、中塚 奏賀¹、伊藤 慎梧¹、土井 正晶¹、嶋 敏之¹ (1. 東北学院大工)

キーワード：α-Fe phase、Coercivity、Electron-beam lithography、Thin film、ThMn₁₂-type structure

Sm(Fe_0.8Co_0.2)₁₂系薄膜の保磁力向上のため、Smシード層を導入したSm(Fe_0.8Co_0.2)₁₂薄膜を微細加工した。その結果、保磁力は減少したが角形比は向上した。