[P] P235~265

[P241] Evaluation of the Inhibition of Low Temperature Thermal Oxidation of Copper in Air by He⁺,H₂⁺Irradiation

*kou Nosaka¹, Yuuki Nakagawa², Tamaki Shibayama² (1. Hokkaido University Graduate School of Engineering, 2. Hokkaido University Faculty of Engineering)

Keywords:Cu、イオン照射、低温酸化、He、H₂

本研究では銅の耐酸化性向上を目指し、イオン照射を用いて表面改質を行った。
He⁺,H₂⁺照射によって200℃30分加熱で酸化が抑制されるという結果が得られた。