[G] 分析・解析・評価

[62] 固相エピタキシーによるPb(Zr,Ti)O₃薄膜成長メカニズムのSTEM-EELS解析

*木口 賢紀¹、内田 寛²、白石 貴久¹ (1. 熊本大学、2. 上智大学)

キーワード：STEM-EELS、強誘電体、固相エピタキシー、界面構造、結晶成長

有機金属錯体の熱分解(MOD)を利用した化学溶液堆積(CSD)法によるPbZr_xTi_1-xO₃（x=0.3）(PZT)薄膜の固相エピタキシーにおいて、非晶質前駆体の結晶化に伴う界面構造と結晶成長機構についてSTEM-EELS法で解析した。