[G] 固相プロセス 固相・溶接プロセス(1)

[116] 超音波接合過程における材料表面状態の影響

*大谷 良美¹、岩本 知広²、濱田 賢祐³ (1. 茨城大学（院生）、2. 茨城大学、3. 超音波工業（株))

キーワード：超音波接合、その場観察、Al、Au、TEM

超音波接合中の部材の微細組織変化を含むその過程は、ナノレベルでの直接観察が困難で、十分に明らかになっていない。本研究ではAl同士、Au同士の超音波接合過程を透過型電子顕微鏡でその場観察し、比較した。