[G] 溶融・凝固プロセス 高温プロセス

[88] Fe-Al 融液を原料とした針状 AlN 単結晶の気相成長における温度の影響

*飴井 千晃¹、福山 博之¹、大塚 誠¹、安達 正芳¹、得地 悠希¹ (1. 東北大多元研)

キーワード：バルクAlN単結晶、気相成長、Fe-Al合金

筆者らは昇華法よりも低い温度でのバルクAlN単結晶作製を目標とし、Fe-Al合金融液を原料とした気相成長法を開発している。本研究では、AlN結晶の成長機構に着目し、結晶成長に与える温度の影響について考察した。