[G] 原子力材料

[323] イオンビーム照射に伴うGe微細構造形成におけるスパッタリングと点欠陥自己組織化の競合

*大石 脩人¹、安岡 龍也¹、川原村 敏幸¹、新田 紀子¹ (1. 高知工科大学)

キーワード：表面微細構造、Ge、イオンビーム、点欠陥、スパッタリング

イオンビーム照射が誘起するGe表面微細構造の形成について調べた。特に斜入射におけるスパッタリングと点欠陥自己組織化の競合について議論した。