[S9] S9.ワイドギャップ結晶の材料学と高温プロセッシングV

[S9.1] [基調講演]大口径SiC 溶液成長における基礎技術とその応用

*宇治原 徹¹ (1. 名大未来研)

キーワード：SiC、溶液成長

我々は本手法による大口径SiC結晶成長を実現すべく、様々な基礎技術の開発を行ってきた。特に、大口径化においては機械学習を用いたデジタルツインの開発とそれを用いた条件最適化が大きな役割を果たしている。