[P] P112~P121

[P113] Cantor合金薄膜のスパッタ法を用いた作製

*棚田 大輔¹、外村 優河¹、石川 和宏²、宮嶋 陽司² (1. 金沢大、2. 金沢理工)

キーワード：ハイエントロピー合金、Cantor合金、スパッタ薄膜、スパッタリング装置、膜厚

スパッタ装置を用いてスライドガラスやS45C等の金属上にハイエントロピー合金であるCantor合金の薄膜を成膜条件を変えることで作製し、SEM・EDS、ナノインデンテーション試験を用いた特性評価を行う。