[P] P112~P121

[P113] Preparation of Cantor alloy thin films using sputtering method

*Daisuke TANADA¹, Yuga TONOMURA¹, Kazuhiro ISHIKAWA², Yozi MIYAZIMA² (1. Kanazawa Univ., 2. Inst. of Kanazawa Univ.)

Keywords:ハイエントロピー合金、Cantor合金、スパッタ薄膜、スパッタリング装置、膜厚

スパッタ装置を用いてスライドガラスやS45C等の金属上にハイエントロピー合金であるCantor合金の薄膜を成膜条件を変えることで作製し、SEM・EDS、ナノインデンテーション試験を用いた特性評価を行う。