[P] P13~P23

[P18] 純鉄中におけるGaの不純物拡散

*田口 収¹、熊谷 毅²、福田 承生²、田中 俊一郎¹、鈴木 茂¹ (1. 東北大μSIC、2. 福田結晶研)

キーワード：拡散、不純物、鉄、ガリウム

高純度鉄でα鉄およびγ鉄でGaを拡散浸透させ、その濃度分布から鉄中の不純物拡散係数および拡散係数のアレニウス式を求めた。Gaの不純物拡散係数はαおよびγ鉄の領域でも鉄の自己拡散係数より1～1.5桁大きかった。