日本金属学会2023年春期(第172回)講演大会

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一般講演

9.Electric/Electronic/Optical Materials » Electric/Electronic/Optical Materials

[G] Semiconductors/ Terahertz Light

Wed. Mar 8, 2023 1:30 PM - 4:35 PM Rm. J (Rm.1225,2nd Flr.,Buld.No.1)

Chair:Yuta Saito

1:30 PM - 1:45 PM

[218] Fabrication and calorimetry of β-MnTe flake prepared by lift-off process

*Shunsuke Mori1, Yuji Sutou1,2 (1. Tohoku Univ. Eng., 2. Tohoku Univ. AIMR)

Keywords:MnTe、フレーク試料、応力、エンタルピー変化

スパッタリングにより成膜したβ-MnTe薄膜をリフトオフプロセスにより基板から分離した。得られたフレーク試料を用いて、基板から受ける応力の影響とβ→α相変化のエンタルピー変化を調査した。

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