[P] P293~P306

[P300] 共鳴核反応による微量酸素量の定量に向けた標準試料の作製

*永嶋 直樹¹、澤谷 柊¹、カイルルアブラル ビンオン¹、鈴木 常生¹ (1. 長岡技科大)

キーワード：PLD、薄膜、標準試料、ラザフォード後方散乱分光法

酸素含有量が任意の標準試料としてNiとYb₂O₃の2相で構成される薄膜を作製することに成功した。この試料を使用して共鳴核反応を利用したラザフォード後方散乱分光法で酸素含有量を高精度分析できることが確認できた。