4:00 PM - 5:30 PM
[P302] Deposition of novel Cr-Yb-N-O thin films and its hardness by PLD
Keywords:PLD、遷移金属窒化物、薄膜、硬度、Cr-Yb-N-O
CrNとYbOの固溶体である(Cr,Yb)(N,O)が合成できた。PaO2=5.0×10-6では最大の硬度を示したが、YbOを添加しても15%以上の差を持ち、Cr金属と2相薄膜となる可能性高いので、大きな硬度の向上が確認できなかった。
ポスターセッション
5.Materials Chemistry » Materials Chemistry
Wed. Sep 18, 2024 4:00 PM - 5:30 PM Poster Session Room2 (Studio A at Science Commons)
4:00 PM - 5:30 PM
Keywords:PLD、遷移金属窒化物、薄膜、硬度、Cr-Yb-N-O