[P] P239~P252

[P245] リン添加Si単結晶における臨界分解剪断応力の温度依存性と転位運動

*杉薗 統眞¹、森川 龍哉²、山﨑 重人²、田中 將己²、藤瀬 淳³、小野 敏昭³ (1. 九州大工(院生)、2. 九州大工、3. (株)SUMCO)

キーワード：P-Si、臨界分解剪断応力、降伏応力、転位運動、活性化エネルギー

Pを添加したSi単結晶について降伏応力の温度依存性を調べ、P濃度による差を考察した。また、塑性変形の活性化エネルギーを調べることでSiの塑性変形メカニズムについて考察した。