[G] 表面・界面・触媒

[303] 精密酸化制御による酸素欠損型ZrO_2-x薄膜の開発と微細構造解析

*楠田 かおり¹、松田 光弘²、松田 元秀²、赤嶺 大志³、光原 昌寿³、志田 賢二⁴、中島 靖⁵ (1. 熊本大院自然(院生)、2. 熊本大院先端科学、3. 九大総理工、4. 熊本大技術部、5. 第一稀元素化学工業(株))

キーワード：ジルコニア、酸素欠損、強磁性体、透過型電子顕微鏡

大気中および酸素分圧制御下での熱処理を組み合わせた精密酸化制御により、高濃度の酸素欠損型強磁性ZrO_2-xを作製した。電子顕微鏡により単斜晶-ZrO₂中に正方晶-ZrO₂が周期的に存在していることが分かった。