[P] P131~P137

[P133] 高周波マグネトロン放電Heプラズマ処理による工業用Ti材料の表面硬化

*丸山 万葉¹、平野 満大² (1. 香川大創造工（学生）、2. 香川大創造工)

キーワード：Ti、Heプラズマ、表面硬化、高周波マグネトロン放電

工業的汎用性の高い高周波マグネトロン放電を用いて発生させたHeグロー放電プラズマによりHeイオンならびに原子を注入し、Ti材料表面の硬化層形成に成功した。