[P] P9~P13

[P12] Au薄膜上へのスパッタによるGe薄膜の結晶化と電気特性

*星 佑樹¹、弓野 健太郎^1,2 (1. 芝浦工業大学大学院、2. 芝浦工業大学グリーンエレクトロニクス国際研究センター)

キーワード：半導体薄膜

本実験では、先にAu膜を形成した基板を加熱しながらGe膜を成膜することで層交換を起こす手法を試みた。この方法でGeを結晶化させて電気特性を調べることを目的とした。