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[P39] 斜入射反応性蒸着法による離散的ナノ柱状構造化InN薄膜堆積における空隙制御法の探索
キーワード：InN薄膜、斜入射堆積法、空隙制御、蒸着
窒化インジウムはエレクトロクロミック(EC)材料である．他のEC材料と比較して色変化の速度が速い．しかしその速度を決定する要因はわかっていない．本研究では，様々な方法をで空隙を制御する方法を探索した．
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