[P] P39~P46

[P41] 異なる希ガス元素を含有した金属ガラス膜の微細組織と高温硬さ特性

*小畠 淳平¹ (1. 大阪技術研)

キーワード：アンバランスドマグネトロンスパッタ法、金属ガラス、希ガス、微細組織、ナノインデンテーション法

UBMスパッタ法によりAr、NeおよびAr＋Neを含有した金属ガラス膜を作製し、膜の微細組織観察と高温硬さの評価を行った。