[P] P59~P63

[P60] 反応性スパッタリング法による窒素添加TiO₂膜の作製とその光触媒活性評価

*沈 善用¹、上田 恭介²、成島 尚之² (1. 東北大工(院生)、2. 東北大工)

キーワード：反応性スパッタリング法、TiO₂膜、光触媒、バンドギャップ、可視光応答化

アナターゼ優勢型窒素添加TiO₂膜を作製した。O₂分率の低下およびN₂分率の増加によりバンドギャップが減少した。可視光照射下において、窒素添加TiO₂膜は水接触角が10°付近まで減少し、可視光応答の可能性を示した。