[G] 溶融・凝固プロセス 高温プロセス（1）

[242] 溶融Fe-Cr-Ni合金を用いた溶液成長法におけるAlN結晶の成長形態に及ぼす温度の影響

*新野田 剛¹、安達 正芳¹、大塚 誠¹、福山 博之¹ (1. 東北大、多元研)

キーワード：溶融Fe-Cr-Ni合金、AlN溶解度積

深紫外LEDの基板材料としてAlN単結晶が注目されている。本研究では、Fe系フラックスとしてSUS304融液を用いたAlNの結晶成長に及ぼす温度の影響について調査した結果について報告する。