[G] 分析・解析・評価

[59] シミュレーションパターンとの比較によるEBSDパターンの解析

*吹野 達也¹、鈴木 清一¹ (1. 株式会社TSLソリューションズ)

キーワード：EBSD、シミュレーションパターン、Spherical Index、方位差解析

Si単結晶の圧痕周辺部のEBSD測定を行い、シミュレーションパターンを用いたEBSDパターンの指数付け法により微小方位差の解析を行った。