講演情報

(ポスター講演)

03: 一般講演（ポスター発表）

一般ポスター

2024年5月19日(日) 10:10 〜 11:50 P/Y会場（一般ポスター） (体育館)

10:10 〜 11:50

[P2003] fsLA-spICP-MSによる積層デバイス向けセラミックスシート中の粒子状汚染物質評価

○山下真弘¹、中西将太¹、関広美¹ (1. 京セラ(株))

キーワード：spICP-MS、fsLA-spICP-MS、LA-ICP-MS、nanoparticle、contamination

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