[4F2-OS-30b] AIによるスマートマニュファクチャリングとシステム健全性管理

[4F2-OS-30b-04] 関数同定によるモデリングの精度改善

〇折原 眞児¹、廣島 康太¹、那脇 洋平¹、野本 憲太郎¹、鶴岡 和之¹ (1. ウシオ電機株式会社)

キーワード：関数同定、モデリング、遺伝的アルゴリズム

弊社ではマスクレスで高微細度の周期パターンを露光できる2光束干渉露光機を開発している。装置の稼働安定性、メンテナンス性改善のために、モデルを用いたステージ制御精度の向上およびステージ動作異常原因の推定を検討している。検討に際してモデルの実機再現性が重要になる。そこで本報告ではシンボリック回帰を用いたモデル精度改善に関して報告する。同じ入力に対する実機とモデルの振る舞いの差分に対して、遺伝的アルゴリズムを用いて関数同定を行った。得られた関数形を人が解釈することによってモーター以外のステージに働く力を明らかにすることができた。モデルと実機の差分にはノウハウや装置改善の参考になる情報が含まれていると考えられる。本研究で提案するモデルと実機の差分に対するシンボリック回帰はそのような知見を得るきっかけとなりうると期待している。