[16a-A13-1~10] 7.2 電子顕微鏡．評価．測定．分析

[16a-A13-6] 走査電子顕微鏡におけるフォギング電子軌跡のシミュレーション

^○（M1）細井創介，熊谷健太朗，小寺正敏 (大阪工大)

キーワード：電子ビーム　シミュレーション