[16a-D3-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16a-D3-4] アークプラズマガンを用いた金属ナノ微粒子を含有するMgO薄膜の結晶成長

^○小管浩揮¹，吉岡秀樹²，山本伸一¹ (龍谷大院理工¹，兵庫工技セ²)

キーワード：Arc Plasma Gun,酸化マグネシウム