2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム

分科企画シンポジウム » 自己組織化によるナノ構造制御技術とそのデバイス応用(関連大分類:6)

[16p-D1-1~6] 自己組織化によるナノ構造制御技術とそのデバイス応用(関連大分類:6)

2013年9月16日(月) 13:30 〜 16:30 D1 (MK 1F-101)

16:00 〜 16:30

[16p-D1-6] 斜め蒸着法によるナノ形態制御とその応用(30分)

鈴木基史 (京大院・工)

キーワード:斜め蒸着法,物理的自己組織化,形態制御