[16p-D3-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16p-D3-12] スパッタ法により作製された3Dクロスポイント型ReRAM用セレクター素子の開発

^○福田夏樹，福寿和紀，広瀬光隆，木村勲，西岡浩，鄒弘綱 (アルバック)

キーワード：ReRAM,セレクター,スパッタリング