[16p-D3-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[16p-D3-3] ICP支援スパッタ法における基板入射イオンエネルギー分析とVO₂薄膜の低温成長に関する研究

^○シュルズ モハメッド，ハニス ヌルー，沖村邦雄 (東海大院工)

キーワード：イオンエネルギー分析,二酸化バナジウム,低温成長