[17a-C1-1~8] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

[17a-C1-3] プラズマ支援ミストCVDによる微小凹凸構造を有した酸化亜鉛薄膜形成

^○竹中弘祐，節原裕一 (阪大接合研)

キーワード：酸化亜鉛、ミストCVD