[17a-C1-1~8] 8.3 プラズマ成膜･表面処理

△ [17a-C1-8] 大気圧プラズマジェットによるチタン材料の窒化物合成

^○吉光祐樹¹，市來龍大¹，神田祥吾¹，吉田昌史²，赤峰修一¹ (大分大工¹，静岡理工科大²)

キーワード：窒化チタン,大気圧プラズマジェット