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一般セッション(口頭講演)

08．プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング

[17a-C2-1~10] 8.4 プラズマエッチング

2013年9月17日(火) 09:15 〜 11:45 C2 (TC3 1F-102)

09:45 〜 10:00

△ [17a-C2-3] Taマスクの形状制御の観点から見たTaNおよびTaOxに対するエッチング反応解析

^○李虎，村木裕，唐橋一浩，浜口智志 (阪大院工)

キーワード：磁性体エッチング,Tantalum,Mask