[17a-P16-1~7] 6.4 薄膜新材料

[17a-P16-3] 赤外線センサ検知部材料のためのTa・Tiドープ酸化バナジウム膜の形成

福島成洋，渡邊良祐，^○齋藤洋司 (成蹊大院理工)

キーワード：ボロメータ,赤外線センサ,酸化バナジウム