[17p-B4-1~18] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-B4-14] IGZO TFT信頼性に関するプロセス条件依存性

^○坂本純一，邵力捷，大竹文人，瀧旭，白井雅紀，湯川富之，武井応樹，清田淳也，石橋暁，齊藤一也 (アルバック)

キーワード：IGZO,TFT,半導体