[17p-B4-1~18] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-B4-15] 酸化物薄膜トランジスタにおける発熱効果および劣化現象のサイズ依存性

^○浦川哲¹，笘井重和²，笠見雅司²，矢野公規²，Wang Dapeng³，古田守³，堀田昌宏^1,4，石河泰明^1,4，浦岡行治^1,4 (奈良先端大¹，出光興産²，高知工科大³，CREST⁴)

キーワード：酸化物半導体,薄膜トランジスタ,発熱解析