[17p-B4-1~18] 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[17p-B4-7] Al添加ZnO透明電導電膜の特性に及ぼす高周波重畳直流スパッタリング法の効果

^○野本淳一¹，宋華平¹，牧野久雄¹，岸本誠一^1,2，山本哲也¹ (高知工科大総研¹，高知高専²)

キーワード：透明導電膜,ZnO