[17p-B5-1~21] 13.3 絶縁膜技術

[17p-B5-7] 多結晶HfO₂厚膜の絶縁特性

^○林真理子，門馬久典，蓮沼隆，山部紀久夫 (筑波大電物)

キーワード：HfO2,Thick