[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-5] ベンゼンを原料としたアモルファス状炭素膜の成膜プロセスにおける基板バイアスの効果の赤外分光計測

谷口雄二郎，八木翔平，^○篠原正典，松田良信，藤山寛 (長崎大院工)

キーワード：赤外分光,ベンゼン,アモルファス状炭素膜