[17p-P2-1~49] 8 プラズマエレクトロニクス（ポスター）

[17p-P2-9] バラン給電型SiH₄/H₂リモートプラズマにおけるイオン衝撃エネルギー測定と評価

^○滝下裕基，牟田浩司，栗林志頭眞，西田哲 (岐阜大院工)

キーワード：イオン衝撃エネルギー,バラン給電,リモートプラズマ