[17p-P8-1~7] 15.5 IV族結晶.IV-IV族混晶

[17p-P8-7] 走査型電子顕微鏡を用いた貫通刃状転位起因の4H-SiC(0001)表面ステップテラス構造の観察

^○梶野智規，久津間保徳，芦田晃嗣，大谷昇，金子忠昭 (関学大理工)

キーワード：SiC,dislocation,SEM