[18a-P1-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[18a-P1-5] ウェットプロセスを用いて作製した強誘電薄膜の圧電特性

^○林恵¹，吉岡秀樹²，山本伸一¹ (龍谷大理工¹，兵庫工技セ²)

キーワード：圧電,ポリフッ化ビニリデン三フッ化エチレン共重合体