[18p-C11-1~14] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[18p-C11-11] マスクパターンによるInP 系ナノワイヤの位置決めVLS 成長

^○河口研一¹，須藤久男¹，松田学¹，江川満¹，山本剛之¹，荒川泰彦² (富士通研¹，東大ナノ量子²)

キーワード：InPナノワイヤ