2013年第74回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

印刷

一般セッション(ポスター講演)

13．半導体A（シリコン） » 13.6 Siデバイス／集積化技術

[18p-P10-1~13] 13.6 Siデバイス／集積化技術

2013年9月18日(水) 13:30 〜 15:30 P10 (デイヴィス記念館 )

13:30 〜 15:30

[18p-P10-3] 固相エピタキシー法によるSi(111)基板上のGeSn-pMOSFETs

○前田辰郎1，Jevasuwan Wipakorn1，服部浩之1，内田紀行1，J. -P. Locquet2，R. R. Lieten2, 3 (産総研1，KU Leuven2，IMEC3)

キーワード：GeSn